最先端の技術で実現する設備・システム
つねに究極レベルの品質を求められる半導体業界において長年培ってきた専門技術を基盤に、さまざまな産業界からのご要望を実現しています。とくに、システム事業部の製品は、確かな技術と豊富な知識・経験を備えており、お客様から高い信頼をいただいています。
プロセスシステム構築のサポート
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信頼性の高い構造設計
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信頼性の高い流体制御部品の製作
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最適な流体制御用部品の選定
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人間工学に基づいた最適な制御技術
主要設備
クリーンルーム クラス1000 180㎡
クリーンルーム クラス10000 380㎡
自動溶接設備(TIG溶接)
リークディテクター、パーティクルカウンター
純水洗浄機、マイクロスコープ
熱風循環式乾燥装置 その他
気体制御装置
半導体、光ファイバー製造装置などのガス制御ユニット及び特殊ガス制御ユニットの開発・設計・製造・改造・メンテナンスまで一貫した対応を行っています。なかでも液体の気化、固体の昇華コントロールなどの特殊ガスの精密制御は多くの実績を誇ります。
ガス制御装置
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拡散、CVD、エッチャー等
半導体製造装置の液体材料気化供給装置 -
光ファイバー、合成石英等製造装置の液体材料気化供給装置
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液体材料の供給としてはベーキング方式、バブリング方式装置の実績多数
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バブリング方式では濃度計の組み合わせによる原料ガスの精密制御の実績あり
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固体材料の気化(昇華)供給装置
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リークディテクター
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パーティクルカウンター
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プロッター
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CADシステム
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マイクロスコープ
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マイクロハイトゲージ
配管溶接
お客様と共に歩み培った技術を反映させ、高い施工・溶接技術を持ったスタッフが充実した設備とクリーンな環境のもとで製作し、安定した高品質な製品を低価格でご提供いたします。試作から量産、お急ぎ品もスピード対応いたします。
配管加工
1/8〜1/2インチの配管加工を自動配管切断機及びベンダー機により行っています。
自動溶接
クリーンな環境の中、自動溶接機でシールドガスに高純度アルゴン(純Ar99.999)を使用し、内圧をテストピースで徹底管理した溶接を行っています。
TIG溶接
経験豊富なスタッフが配管・薄板から厚物・加工品等まで、TIG溶接機によってステンレス・軟鋼・アルミニウム・チタン等の溶接を行っています。また電極・溶接棒はJIS規格に適合したもののみを使用し、イナートガスは高純度アルゴン(純Ar99.999)を使用しています。
純水洗浄
洗浄配管サイズ1/8〜1/2インチの純水洗浄・乾燥が可能です。また純水は定期的な保守・点検のもと、抵抗値15.5〜18.0MΩで管理された純水を使用しています。
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クリーンルーム クラス1000 180㎡
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クリーンルーム クラス10000 380㎡
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自動配管切断機
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自動ベンダー機
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手動ベンダー
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配管自動溶接機
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TIG溶接機
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純水洗浄機
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超音波清浄機
精密加工品
ステンレスをはじめとした各種特殊鋼・合金の切削加工、精密な各種鋳鍛造部品を製作しています。特殊鋼販売商社としての経験を活かして素材の選定から精密加工、表面処理まで一貫してお任せいただけます。
金属加工部品
当社が最も得意とするステンレスの加工をはじめとした特殊鋼・ニッケル合金・チタン合金・アルミ合金などの切削・溶接加工を行っています。当社の加工品は要求品質の高い大手メーカー様からも高い評価を得ており、難削材・難形状の加工も豊富な経験でお客様のご希望にお応えいたします。
鋳造品・鍛造品
自動車用部品・航空機用部品をはじめとした特に厳しく高精度・高品質を求められる鋳鍛造部品を長年にわたり製作しています。鋳造品は、金型製作・鋳造・熱処理・切削加工にいたるまで一括で受注でき、短納期・大量受注にも対応可能です。また、従来はプレスや溶接で作っていたものを鋳物に変更することにより大幅なコストの削減を実現いたします。